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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心暖通環(huán)保控制器21V系列ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。

產(chǎn)品型號(hào)：21V系列

更新時(shí)間：2024-11-20

廠商性質(zhì)：代理商

訪(fǎng)問(wèn)量：474

服務(wù)熱線(xiàn)

4006981718

立即咨詢(xún)
產(chǎn)品介紹

美國(guó)ALICAT 21V系列帶截止閥質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶(hù)標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專(zhuān)為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。該集成氣動(dòng)切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 半導(dǎo)體

● 光伏

● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特色


數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
 量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200：1

最大顯示流量    102.4%FS

顯示屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿(mǎn)量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門(mén)泄漏率    不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms（可調(diào)）預(yù)熱時(shí)間：<1s

標(biāo)定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ℃

工作濕度：0-100%，無(wú)冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)    316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強(qiáng)尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí)：IP40

* 如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢(xún)我們

氣體編碼


ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

* 混合氣體編碼為“800"，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。

* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類(lèi)氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類(lèi)氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類(lèi)氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢(xún)我們。


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